河源声表面谐振器343

湿度检测在仓储、粮食及食品防霉、温室种植、环境监测、仪表电器、交通运输、气象、国防等方面均起着越来越重要的作用。由于在常规的环境中，湿度是一个很难准确测量的参数。因此，湿度测量需要具有高灵敏度、快速响应速度高等性能。浙江大学的课题组通过对声表面波传感器扰动理论模型及其质量负载效应、声电祸合效应等响应机理进行了深入剖析，从根本上为声表面波传感器的结构设计、湿敏材料选择提供了理论依据和参考。同时，还使用精密光刻工艺制备出了高频声表面波单端谐振器作为湿敏传感器的基本换能元件，并开发了具有高性能的声表面波高频振荡电路及整套的检测系统以及提出了新型的叉指电极串联式声表面波传感器结构，为高频声表面波传感器的设计提供了新的思路，满足了其在湿度检测中的应用。现已制造出1.5GHzPDC用射频声表面谐振器，其插入损耗只有1.2dB。河源声表面谐振器343

声表面波滤波器具备如下特点：声表面波滤波器通过调整叉指换能器的指条宽度、间距、数量等能够任意地对信号进行裁剪，信号处理过程简单且灵活；声表面波滤波器的制作采用半导体平面工艺，因此芯片生产的一致性和重复性较好，具有规模效应与成本优势。声表面波滤波器早期多应用于以电视机为的视听类家电产品，随着通信产业的快速发展，90年代后声表面波滤波器的产量与需求快速上升，并广泛应用于手机等移动终端设备。随着通讯技术的不断升级，声表面波滤波器的应用场景也在不断扩宽，技术上也愈发呈现小型化、模组化、高频化、高功率和大带宽等趋势深圳出口声表面谐振器牌子近年来国外已将声表面谐振器片式化，重量只有0.2g。

由于电力设备是工作在高电压、强负荷且长期不停电状态下，对于测温装置的要求自然更高。运行中高压电力设备周围分布有强电场，其温度检测传感器必须具备无源或者自取能功能，才能保证电力设备的安全性。另外，电力设备间要求保持特定安全距离，故检测装置体积应尽可能小。对于各种型号的电力设备均适应安装，以及设备维护周期应尽量长，以保障电力设备长期不断电运行。研究人员研究了射频能量收集技术在监控电力系统温度变化的可能性，同时还开发了一种基于射频能源动力的声表面波温度传感器。该系统主要由一个双通道的阅读器和许多传感器节点组成，传感器的节点通过从阅读器输送的能量中获得能量，而传输的射频能量作为打开传感器从而避免数据相冲的唤醒信息。根据作者的分析，射频能量收集技术是一种非常适用于电力设备的声表面波传感器技术。

声表面波器件是在压电基片上制作两个声一电换能器——叉指换能器。所谓叉指换能器，就是在压电基片表面上形成形状像两只手的手指交叉状的金属图案，它的作用是实现声一电换能。声表面波器件的工作原理是，基片左端的换能器(输入换能器)通过逆压电效应将愉入的电信号转变成声信号，此声信号沿基片表面传播，终由基片右边的换能器(输出换能器)将声信号转变成电信号输出。整个声表面波器件的功能是通过对在压电基片上传播的声信号进行各种处理，并利用声一电换能器的待性来完成的。早期声表面谐振器的缺陷是插入损耗大。

声表面波(surfaceacousticwave，SAW)传感器是近年来发展起来的一种新型微声传感器，是一种用声表面波器件作为传感元件，将被测量的信息通过声表面波器件中声表面波的速度或频率的变化反映出来，并转换成电信号输出的传感器。声表面波传感器能够精确测量物理、化学等信息(如温度、应力、气体密度)。由于体积小，声表面波器件被誉为开创了无线、小型传感器的新纪元；同时，其与集成电路兼容性强，在模拟数字通信及传感领域获得了应用。SAW 声表面波元件的制作可分为晶圆清洗、镀金属膜、上光阻、显影、蚀刻、去光阻、切割、封装、等相关步骤。韶关声表面谐振器体声波谐振器

SAW 声表面波元件有性能稳定、尺寸小的特点，主要应用于无线设备。河源声表面谐振器343

滤波器是射频系统中必不可少的关键部件之一，主要是用来作频率选择----让需要的频率信号通过而反射不需要的干扰频率信号。滤波器广泛应用在接收机中的射频、中频以及基带部分。虽然对这数字技术的发展，采用数字滤波器有取代基带部分甚至中频部分的模拟滤波器，但射频部分的滤波器任然不可替代。因此，滤波器是射频系统中必不可少的关键性部件之一。滤波器的分类有很多种方法。例如：按频率选择的特性可以分为：低通、高通、带通、带阻滤波器等；按实现方式可以分为：LC滤波器、声表面波/体声波滤波器、螺旋滤波器、介质滤波器、腔体滤波器、高温超导滤波器、平面结构滤波器。按不同的频率响应函数可以分为：切比雪夫、广义切比雪夫、巴特沃斯、高斯、贝塞尔函数、椭圆函数等。河源声表面谐振器343

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